——上海新陽(yáng)“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收
2015年12月28日，上海新陽(yáng)承擔(dān)的“65-45nm 芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目正式驗(yàn)收會(huì)在公司舉行。本次驗(yàn)收會(huì)由國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項(xiàng)”（簡(jiǎn)稱“02專項(xiàng)”）實(shí)施管理辦公室召集組織。02專項(xiàng)總體專家組組長(zhǎng)、中科院微電子研究所所長(zhǎng)葉甜春，02專項(xiàng)實(shí)施實(shí)施管理辦公室、上海市科委高新處處長(zhǎng)王曄，任務(wù)驗(yàn)收專家組長(zhǎng)鄭敏政，財(cái)務(wù)驗(yàn)收專家組長(zhǎng)秦亮，項(xiàng)目責(zé)任專家、復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院副院長(zhǎng)張衛(wèi)教授，用戶代表中芯國(guó)際吳正隆等專家領(lǐng)導(dǎo)和來(lái)自項(xiàng)目承擔(dān)單位的50余人參加了會(huì)議。公司董事長(zhǎng)王福祥、副董事長(zhǎng)孫江燕、總經(jīng)理方書農(nóng)等高管出席了會(huì)議。
與會(huì)專家按《國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”項(xiàng)目驗(yàn)收暫行實(shí)施細(xì)則》的相關(guān)規(guī)定實(shí)施了項(xiàng)目驗(yàn)收。任務(wù)驗(yàn)收專家聽(tīng)取了項(xiàng)目承擔(dān)單位上海新陽(yáng)項(xiàng)目組長(zhǎng)孫江燕及課題承擔(dān)單位復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、上海集成電路研發(fā)中心有限公司的項(xiàng)目完成情況匯報(bào)、現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試組的測(cè)試與資料審查報(bào)告，審閱了相關(guān)驗(yàn)收資料，并進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)考察。財(cái)務(wù)專家依據(jù)《民口科技重大專項(xiàng)資金管理暫行辦法》等財(cái)務(wù)相關(guān)規(guī)定，對(duì)照項(xiàng)目預(yù)算書和有關(guān)批復(fù)文件，查看了項(xiàng)目審計(jì)報(bào)告，抽查了財(cái)務(wù)資料，并進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)查驗(yàn)。經(jīng)質(zhì)詢和討論，專家們一致同意項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收！
會(huì)議認(rèn)為，本項(xiàng)目完成了任務(wù)合同書規(guī)定的研發(fā)內(nèi)容，開(kāi)發(fā)了面向65-45nm先進(jìn)銅互連用超高純電鍍液（VMS）、TSV 電鍍液以及相關(guān)芯片銅互連超高純電鍍添加劑，開(kāi)展了65-45nm 銅互連填充工藝研究、芯片銅互連電鍍技術(shù)與材料性能基礎(chǔ)研究、超高純電鍍液及添加劑的中試驗(yàn)證評(píng)估，各項(xiàng)技術(shù)考核指標(biāo)達(dá)到任務(wù)合同書考核要求。項(xiàng)目成果實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)和產(chǎn)業(yè)化銷售，通過(guò)了多條大產(chǎn)線的驗(yàn)證考核。其中，中芯國(guó)際上海公司（8英寸產(chǎn)線）、中芯國(guó)際北京公司（12英寸65-55nm產(chǎn)線）、無(wú)錫SK海力士（12英寸32nm產(chǎn)線）將項(xiàng)目成果芯片銅互連電鍍液認(rèn)定為基準(zhǔn)材料（Baseline）！項(xiàng)目共申請(qǐng)發(fā)明專利61項(xiàng)，其中國(guó)內(nèi)發(fā)明專利56項(xiàng)，國(guó)際發(fā)明專利PCT申請(qǐng)5項(xiàng)，并制定了7項(xiàng)企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。項(xiàng)目建成了年產(chǎn)能達(dá)1260噸的高純電鍍液生產(chǎn)線和年產(chǎn)能達(dá)150噸的高純電鍍添加劑生產(chǎn)線，完成了任務(wù)合同書規(guī)定的相關(guān)考核指標(biāo)！
上海新陽(yáng)本項(xiàng)目開(kāi)發(fā)的“超高純電鍍液及添加劑”難度極大，全球僅有少數(shù)幾家供應(yīng)商能夠?qū)⑵渖虡I(yè)化。上海新陽(yáng)在該領(lǐng)域的早期探索性研究可以追溯到2003年，經(jīng)過(guò)新陽(yáng)兩代技術(shù)人才的接力奮斗，經(jīng)過(guò)漫長(zhǎng)的周而復(fù)始的研究、失敗、改進(jìn)和再研究……在02專項(xiàng)、中芯國(guó)際等各方各面的支持下，鍥而不舍的新陽(yáng)人終于在2013年迎來(lái)了成功的曙光，并在中芯國(guó)際和無(wú)錫SK海力士取代國(guó)外供應(yīng)商的電鍍液！
世上無(wú)難事，只要肯登攀！今天，我們以較優(yōu)異的成績(jī)完成了“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目。明天，我們將全力以赴完成下一個(gè)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化任務(wù)！不辜負(fù)02專項(xiàng)、黨和國(guó)家對(duì)我們的厚望！
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